純水是指既將水中易去除的強電介質去除，又將水中難以除去的硅酸及二氧化碳等弱電解質去除至一定程度的水。純水的含鹽量在1.0mg/L以下,電導率小于3μs/cm。超純水又稱高純水，是指將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水，。超純水的含鹽量在0. 1mg/L以下,電導率小于0. 1μs/cm。 純水和超純水除了對含鹽量或電導率有嚴格要求外，對水中各種金屬離子含量，有機物含量、微粒粒徑及數量和微生物數量也有嚴格指標限制。蒸餾水是將原水加熱汽化，再將蒸汽冷凝成的水稱為蒸餾水。一般蒸餾水電導率為10μs/cm左右，將一次蒸餾水再次蒸餾得到二次蒸餾水，多次蒸餾得到多次蒸餾水，電導率可降至很低達1.0μs/cm左右。